やっと部材が揃ったので、真空ポンプの到達真空度を測ってみる。
真空計はMini-Convectron 275856 ピラニ真空計を使う。
ポンプの定格は10Paとなっているのだが、何せジャンクなものだからちゃんと引けるかどうか。
真空計はリニア出力があるので、計測電圧から圧力を精度良く換算出来る。
真空計の出力電圧が2.67Vだったので、到達真空度は約35.6Paという事になる。
一般的なエアコンの真空引きだと50Paが目安みたいに書かれているので、エアコンの真空引きには一応使えるかな。
こうなるともっと真空度の高いポンプが欲しくなる(単に測ってみたいだけ)のだが、ちゃんとしたものはデカくて重くて(20kg以上ある)、電源もそれなりに必要なのだ。
測定が終わったあとでトラブルが発生した。
真空計を真空ポンプに付けっぱなしの状態で真空ポンプの電源を切ったら、オイルが逆流して真空計の方に入ってしまった。
センサは温度を測っているので、異物が入れば計測が出来なくなる。
排気にオイルが混じる事はあるものの、吸気側にオイルが逆流するとは予想しなかった。
真空計の中はこんな風になっている。
ピラニゲージは基板にささっている。
真空管のソケットのような感じで、引っ張ると抜ける。
回路はそう複雑なものではない。
真空計のセンサを洗浄してみたのだが、回復しない。
センサ部を減圧してアルコールを吸い込ませ、それで内部を洗うことを何度か繰り返した。
オイルはアルコールに溶けると思うのだが、回復しない。
洗浄液が残らないようにしばらく真空引きもしてみたのだが、ダメだ。
もう回復することはないと思うので、ジクロロメタンやパーツクリーナでも洗浄も試みた。
全く計測出来ないわけではないのだが、真空ポンプを接続しても300Pa程度に測れてしまう。
大気圧は計測出来ている。
ポンプが壊れるとも考えにくいしなぁ…
壊れたセンサを解体してみようかと思った。
内部には白金線が入っているだけだと思うのだが、見てみたいではないか。
パイプカッタで切れるかな？なんて思いながら眺めていたのだが、思いとどまった。
またこのセンサユニットが売られていることがあったら(定価で買うと20万円～30万円)、そして安価に手に入ったら生きているセンサと比較してみるのも面白いかなと思って。
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